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Projektgruppen

Installation einer autonomen Reinraum-Überwachung

Gerätschaften im Reinraum sind teilweise schwierig oder gar nicht remote ansteuerbar. Für eine Überwachung des Gerätebetriebs ist Anwesenheit im Reinraum erforderlich, was mit einem hohen Zeitaufwand verbunden ist (Umziehen, Einschleusen, etc.). Daher wäre eine Geräteüberwachung vom Büroraum aus wünschenswert.

Dazu soll eine Webcam eingerichtet werden, deren Bild über das Lehrstuhlnetzwerk browser-basiert zur Verfügung gestellt wird. Zusätzlich soll mit Hilfe von Bilderkennungsalgorithmen festgestellt und benachrichtigt werden, wann z.B. ein Prozess beendet ist. Bei den zu überwachenden Geräten handelt es sich um ein Plasmalab RIE (Reactive Ion Etching), eine Oxford PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und einen Pfeiffer PLS 500 Elektronenstrahl-Verdampfer.

Arbeitspakete:

  • Installation der benötigten Hardware, insbesodere der Webcams mit entsprechender Justierung vor den Geräten. Dazu ggf. ein Halterungsdesign erstellen und 3D-drucken                         
  • Einrichtung einer Bildübertragung aus dem Reinraum auf die Lehrstuhlwebsite (Raspberry Pi)
  • Entwicklung eines Bilderkennungsalgorithmus zur automatischen Erkennung der Prozessfortschritte
  • Einrichtung einer automatischen Benachrichtigung (z.B. für beendete Prozesse)
  • Anfertigung des Projektberichtes und der Präsentation

Wir bieten:

  • Überblick über die verschiedenen technologischen Prozesse in unserer Technologielinie
  • Einarbeitung in die Erstellung einer Web-Oberfläche
  • Einarbeitung in das Feld der Bilderkennung
  • Grundlagen des Projektmanagements
  • Mitarbeit in einem engagierten Team

Zur Internetseite der Projektgruppenorganisation der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik geht es hier



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Ansprechpartner

M.Sc. Till Stramm

 

M.Sc. Inga Rittner

 

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