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Ehem. Mitarbeiter

Prof. Dr.-Ing. Dirk Fischer

Anschrift

Technische Universität Dortmund
Lehrstuhl für Hochfrequenztechnik
Prof. Dr.-Ing. Dirk Fischer
Friedrich-Wöhler-Weg 4
D-44227 Dortmund

Kontakt

Telefon: über das Sekretariat
des Lehrstuhls:
+49 (0)231 755 - 2491
mitarbeiter35

Publikationen

  • D. Fischer, "Mehrmodige integriert-optische Wellenleiterschaltungen aus Polymeren", Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 10: Informatik / Kommunikationstechnik, VDI-Verlag, Düsseldorf 1997
  • D. Fischer, and E. Voges, "Multimode polymeric waveguide devices fabricated by two-component injection moulding", Electronics Letters 33, no. 19, 1997, 1626-1627
  • V.A. Yunkin, V.F. Lukichev, K.V. Rudenko, D. Fischer, and E. Voges, "Experimental study and computer simulation of aspect ratio dependent effects observed in silicon reactive ion etching", Microelectronic Engineering, 30, 1996, 245-248
  • V.A. Yunkin, D. Fischer, and E. Voges, "Reactive ion etching of silicon submicron-sized trenches in SF6/C2Cl3F3plasma", Microelectronic Engineering, 27, no. 1-4, 1995, 463-466
  • D. Fischer, D. Ullmann, L. Müller, and E. Voges, "Simple Polymer Technologies for multimode Integrated Optics", European Conference on Integrated Optics, ECIO'95, Delft, Netherlands, 1995, 197-200
  • V.A. Yunkin, I.W. Rangelow, J.A. Schäfer, D. Fischer, E. Voges, and S. Sloboshanin, "Experimental Study of Anisotropy Mechanisms During Reactive Ion Etching of Silicon in a SF6/C2Cl3F3plasma", Microelectronic Engineering, 23, no. 1-4, 1994, 361-364
  • V.A. Yunkin, D. Fischer, and E. Voges, "Highly Anisotropic Selective Reactive Ion Etching of Deep Trenches in Silicon", Microelectronic Engineering, 23, no. 1-4, 1994, 373-376